環境掃描電鏡產品介紹
環境掃描電鏡 Prisma E SEM 產品介紹:
新型Prisma E SEM 結合了全面成像性能、獨特的環境模式以及先進的自動化選項,與同類設備相比,能夠提供完整的成像、分析及原位實驗等解決方案。
PrismaE繼承了成熟的Quanta技術,非常適合于需要高分辨率、操作簡便且樣品靈活多樣的工業研發、品質管理、失效分析等方面的應用。
Prisma E SEM掃描電鏡主要特點
觸手可及的元素信息
通過選配 ChemiSEM 技術和集成能量色散 X 射線光譜(EDS)進行實時成分面分布以實現直觀元素分析。
這種始終在線的分析能力可極大提高您的工作效率,并獲取最完整的樣品信息。
出色的圖像質量
靈活的真空模式以及通過透鏡抽真空技術,使Prisma E環境掃描電鏡可在低電壓和低真空下獲得出色的圖像質量。
且在每個操作模式下,都可實現二級電子 (SE) 和背散射電子 (BSE) 同時成像。
極大限度地減少樣品制備時間
低真空和ESEM環境掃描電鏡功能可對非導電和/或含水樣品進行無電荷/或無脫水成像和分析。
對自然狀態下的材料進行原位研究
憑借 Prisma E的環境掃描電鏡 (ESEM) 模式、可在樣品加熱、放氣或潮濕的狀態下直接成像。
優異的分析能力
倉室支持最多安裝3 個 EDS 探測器,其中兩個EDS接口呈180°對稱,并可安裝波長色散光譜 (WDS)、共面 EDS/EBSD,并可在低真空模式下實現高質量無電荷 EDS 和 EBSD 分析。
易于使用
Prisma E環境掃描電鏡相關操作軟件具有用戶指南和撤消功能,可以使新手用戶進行高效的操作,也可極大減少專家級用戶的操作負荷。
環境掃描電鏡技術參數
環境掃描電鏡 Prisma E SEM 產品規格:
分辨率在高真空、低真空和 ESEM 的 30 kV 下為 3.0 nm
在 3 kV(BSED、樣品臺減速)下為 7.0 nm
標準檢測器
ETD、低真空 SED (LVD)、 ESEM SED (GSED)、紅外CCD
可選檢測器
Thermo Scientific Nav-Cam+ 攝像機、DBS、DBS-GAD、ESEM-GAD、STEM 3+、WetSTEM、RGB-CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼、EBIC 等
ChemiSEM 技術(可選)
可基于能量色散 X 射線光譜 (EDS) 進行實時定量 元素面分布。包含點分析、線掃描、面分布及元素定量。
樣品臺減速(可選)
-4,000 V 至 +50 V
低真空模式
高達 2,600 Pa (H2O) 或 4,000 Pa (N2)
樣品臺
5軸馬達優中心樣品臺,110 x 110 mm2,105° 傾斜范圍。
最大樣品重量:未傾斜位置,5 kg。
標準樣品支架
標準多樣品 SEM 支架可單獨安裝
在載物臺上,可容納多達 18 個標準樣品托 (? 12 mm),
無需工具即可安裝樣品
樣品倉
340 mm 內寬,12 個接口,最多可接三個 EDS 檢測器(兩個呈 180°對稱),并具有與共面 EDS共面的EBSD接口。
原位配件(可選)
軟件控制的 -20°C 至 +60°C Peltier 冷臺
軟件控制的 1,000°C 低真空/ESEM 熱臺
軟件控制的 1,100°C 高真空熱臺
軟件控制的 1,400°C 低真空/ESEM 熱臺
集成氣體注入系統:用于下列材料的電子束誘導沉積,最多支持2種氣體(其他配件可能限制可用的注氣系統 (GIS) 數量):
鉑、鎢、碳
納米機械手
液氮致冷臺
電子探針/多探針臺
軟件選項
Thermo Scientific Maps 軟件可進行大面積圖像自動采集和拼接,并可與其它設備聯用
Thermo Scientific AutoScript 4 軟件;基于 Python 的應用程序編程界面
圖形發生軟件
TopoMaps 軟件用于圖像著色及分析和 3D 表面重建